Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Ю. А. Родионов

Учебная литература.

Скачать книгу
Читать онлайн

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем


Год выпуска 0

isbn 978-5-8114-5788-5

Автор произведения Ю. А. Родионов

Жанр Учебная литература

Серия

Издательство Издательство ЛАНЬ


Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».