Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники. Коллектив авторов
Техническая литература.
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Год выпуска 2020
isbn 978-985-08-2521-6
Автор произведения Коллектив авторов
Издательство Издательский дом “Белорусская наука”
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.