Технологии субмикронных структур микроэлектроники. Коллектив авторов
Учебная литература.
Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Год выпуска 2018
isbn 978-985-08-2298-7
Автор произведения Коллектив авторов
Жанр Учебная литература
Издательство Издательский дом “Белорусская наука”
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.