Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Игорь Житяев
Учебная литература.
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
Год выпуска 0
isbn 978-5-9275-3097-7
Автор произведения Игорь Житяев
Жанр Учебная литература
Издательство Южный Федеральный Университет
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».