Лазеры в микро- и наноэлектронике. А. В. Палий
Учебная литература.
Лазеры в микро- и наноэлектронике
Год выпуска 2018
isbn 978-5-9275-3083-0
Автор произведения А. В. Палий
Жанр Учебная литература
Издательство Южный Федеральный Университет
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.