Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).
Издание содержит четыре лабораторные работы, при выполнении которых студенты получают навыки применения методов оценки работоспособности электронной аппаратуры. Для бакалавров, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».