Проведение научных экспериментов в наноинженерии. В. А. Шахнов
.
Проведение научных экспериментов в наноинженерии
Год выпуска 2015
isbn 978-5-7038-4141-9
Автор произведения В. А. Шахнов
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).