Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Ю. А. Родионов
Учебная литература.
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Год выпуска 2019
isbn 978-5-9729-0337-5
Автор произведения Ю. А. Родионов
Жанр Учебная литература
Издательство Инфра-Инженерия
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.