Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы). Ю. В. Колковский

Учебная литература.

Скачать книгу
Читать онлайн

Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)


Год выпуска 2017

isbn 978-5-94836-471-1

Автор произведения Ю. В. Колковский

Жанр Учебная литература

Серия

Издательство Техносфера


Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.