Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Игорь Житяев
Учебная литература.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Год выпуска 0
isbn 9785927523955
Автор произведения Игорь Житяев
Жанр Учебная литература
Издательство Южный Федеральный Университет
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».