Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии. Александр Величко

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии

Год выпуска 2012

isbn 978-5-7782-1924-3

Автор произведения Александр Величко

Жанр Учебная литература

Серия

Издательство НГТУ

Дано краткое описание способа измерения ширины запрещенной зоны и толщины гетероэпитаксиальных узкозонных полупроводников методом определения спектральных зависимостей коэффициентов поглощения и отражения на ИК Фурье-спектрометре. В работе кратко изложена теория механизмов поглощения и отражения в полупроводниках. Дано описание ИК Фурьеспектрометра Nicolet 6700, изложена методика проведения эксперимента и обработки экспериментальных данных. Приведены контрольные вопросы и список рекомендованной литературы.