Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов. Дмитрий Крутогин

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов

Год выпуска 2013

isbn

Автор произведения Дмитрий Крутогин

Жанр Техническая литература

Серия

Издательство МИСиС

В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».