Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD. Виктор Никоненко
Техническая литература.
Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD
В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD.