Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Год выпуска 2015

isbn

Автор произведения Дмитрий Крутогин

Жанр Педагогика

Серия

Издательство МИСиС

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».