Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus. А. А. Глушко
.
Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus
Год выпуска 2015
isbn 978-5-7038-4177-8
Автор произведения А. А. Глушко
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».