Формирование функциональных слоев. Юрий Панфилов
.
Формирование функциональных слоев
Год выпуска 2020
isbn 978-5-7038-5350-4
Автор произведения Юрий Панфилов
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».