Основы технологии электронной компонентной базы. Е. Э. Бодров
Учебная литература.
Основы технологии электронной компонентной базы
Год выпуска 0
isbn 978-5-9729-0846-2
Автор произведения Е. Э. Бодров
Жанр Учебная литература
Издательство Инфра-Инженерия
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».