Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Ю. А. Родионов
Учебная литература.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Год выпуска 0
isbn 978-5-8114-5788-5
Автор произведения Ю. А. Родионов
Жанр Учебная литература
Издательство Издательство ЛАНЬ
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».