Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства. Павел Маринушкин
Учебная литература.
Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства
Год выпуска 2020
isbn 978-5-7638-4263-0
Автор произведения Павел Маринушкин
Жанр Учебная литература
Издательство Сибирский федеральный университет
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».