Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие. А. И. Мочалов
Техническая литература. Нанотехнологии
Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Год выпуска 2013
isbn 978-5-9963-2129-2
Автор произведения А. И. Мочалов
Серия Нанотехнологии
Издательство «Лаборатория знаний»
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.