Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие. М. В. Силибин
Техническая литература.
Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие
Год выпуска 2012
isbn 978-5-9963-2567-2
Автор произведения М. В. Силибин
Издательство «Лаборатория знаний»
В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто– и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Вторая часть пособия посвящена технологии получения основных компонентов микро-, опто– и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.