Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие. А. И. Мочалов
Техническая литература.
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Год выпуска 2012
isbn 978-5-9963-2569-6
Автор произведения А. И. Мочалов
Издательство «Лаборатория знаний»
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.