Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1. М. А. Королев
Техническая литература.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Год выпуска 2012
isbn 978-5-9963-2904-5
Автор произведения М. А. Королев
Издательство «Лаборатория знаний»
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.