Физические основы вакуумной техники. Александр Василевский
Учебная литература.
Физические основы вакуумной техники
Год выпуска 2014
isbn 978-5-7782-2424-7
Автор произведения Александр Василевский
Жанр Учебная литература
Издательство НГТУ
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.