Технологические процессы микроэлектроники. В. В. Макарчук
.
Технологические процессы микроэлектроники
Год выпуска 2016
isbn 978-5-7038-4358-1
Автор произведения В. В. Макарчук
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.