Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования. Ю. С. Боброва
.
Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования
Год выпуска 0
isbn 978-5-7038-4669-8
Автор произведения Ю. С. Боброва
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования. Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».