Технология интегральных микросхем. Виталий Смирнов
.
Технология интегральных микросхем
Год выпуска 2023
isbn 978-5-9729-1232-2
Автор произведения Виталий Смирнов
Издательство Инфра-Инженерия
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».