Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем. П. С. Маринушкин
.
Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем
Год выпуска 2022
isbn 978-5-7638-4575-4
Автор произведения П. С. Маринушкин
Издательство Сибирский федеральный университет
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS. Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».