Расчет вакуумных систем технологического оборудования. Валерий Михайлов
.
Расчет вакуумных систем технологического оборудования
Год выпуска 2022
isbn 978-5-7038-5813-4
Автор произведения Валерий Михайлов
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».