Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды. А. Т. Каменихин

.

Скачать книгу
Читать онлайн

Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды


Год выпуска 2020

isbn 978-5-7038-5384-9

Автор произведения А. Т. Каменихин

Жанр

Серия

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)


Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.