Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды. А. Т. Каменихин
.
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
Год выпуска 2020
isbn 978-5-7038-5384-9
Автор произведения А. Т. Каменихин
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.