Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Юрий Цветков
.
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
Год выпуска 2020
isbn 978-5-7038-5369-6
Автор произведения Юрий Цветков
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».