Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие. Г. И. Зебрев
Техническая литература. Нанотехнологии
Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие
Год выпуска 2012
isbn 978-5-9963-2630-3
Автор произведения Г. И. Зебрев
Серия Нанотехнологии
Издательство «Лаборатория знаний»
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро– и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».