Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Коллектив авторов
Физика. Интеграционные проекты СО РАН
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Год выпуска 2011
isbn 978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1183-6
Автор произведения Коллектив авторов
Жанр Физика
Серия Интеграционные проекты СО РАН
Издательство ФГУП «Издательство СО РАН»
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.