Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для СПО. Александр Сергеевич Сигов
. Профессиональное образование
Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для СПО
Год выпуска 2025
isbn 9785534197860
Автор произведения Александр Сергеевич Сигов
Серия Профессиональное образование
Издательство ЮРАЙТ
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.