Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО. Александр Сергеевич Сигов
. Профессиональное образование
Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО
Год выпуска 2025
isbn 9785534197709
Автор произведения Александр Сергеевич Сигов
Серия Профессиональное образование
Издательство ЮРАЙТ
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.