Владимир Кочемировский

Дефекты кристаллической структуры полупроводниковых материалов

Владимир Кочемировский

В настоящем учебном пособии рассмотрены основные типы дефектов кристаллической решётки и их влияние на свойства полупроводникового кристалла. Полупроводниковый кристалл – основа микроэлектроники. Создание полупроводниковых материалов со строго заданными параметрами электрических и оптических свойств – сложнейший технологический процесс. Малейшие отклонения от заданного состава полупроводникового материала, как широко известно, приводят к неконтролируемому изменению его свойств. Менее широко известно, что практически такую же роль играет степень дефектности полупроводникового кристалла, т. е. количество и качество отклонений от идеальной кристаллической структуры, появляющихся в кристалле в процессе его роста под влиянием многочисленных внешних факторов: диффузионных ограничений, температурных флуктуаций, побочных химических реакций и т. д. Книга адресована студентам, специализирующимся по направлениям «Физическая химия», «Неорганическая химия», и может использоваться в качестве учебного пособия к курсу «Химия кристаллических полупроводников».