Техническая механика микросистем. Коллектив авторов
Учебная литература.
Техническая механика микросистем
Год выпуска 2015
isbn 978-5-9963-3001-0
Автор произведения Коллектив авторов
Жанр Учебная литература
Издательство «Лаборатория знаний»
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.