Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры. Александр Сергеевич Сигов
Учебная литература. Университеты России
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Год выпуска 2016
isbn 9785991671552
Автор произведения Александр Сергеевич Сигов
Жанр Учебная литература
Серия Университеты России
Издательство ""Издательство ЮРАЙТ""
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.