Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение. Александр Михайлович Ефремов
Химия. Фундаментальная и прикладная физика
Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение
Год выпуска 2013
isbn 978-5-9221-1406-6
Автор произведения Александр Михайлович Ефремов
Жанр Химия
Серия Фундаментальная и прикладная физика
Издательство "Физматлит"
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.