Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Светлана Козубняк
Учебная литература.
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Год выпуска 2013
isbn 978-5-7038-3729-0
Автор произведения Светлана Козубняк
Жанр Учебная литература
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».