Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Дмитрий Духопельников
Учебная литература.
Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Год выпуска 2014
isbn 978-5-7038-3798-6
Автор произведения Дмитрий Духопельников
Жанр Учебная литература
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.