Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS. А. В. Гридчин
. Факультет радиотехники и электроники
Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS
Год выпуска 2022
isbn 978-5-7782-4832-8
Автор произведения А. В. Гридчин
Серия Факультет радиотехники и электроники
Издательство Новосибирский государственный технический университет
Пособие посвящено вопросам компьютерного моделирования различных сенсоров и микросистем, из числа разработанных и применяющихся в настоящее время, при помощи системы инженерного моделирования ANSYS. При этом основной акцент в пособии поставлен на описании различных методик и особенностей их реализации в рамках системы ANSYS, которые могут применяться для целей практического моделирования кремниевых механических сенсоров и микросистем. Пособие представлено как вводный курс лабораторных работ по дисциплинам «Физические основы микро- и наносистемной техники» и «Микродатчики». Первый раздел – это по сути обзор возможностей системы ANSYS при помощи приложения ANSYS Help Viewer. Второй раздел посвящен технологии пошагового создания геометрии простейших объектов. В приложении дается краткое описание метода конечных элементов, с точки зрения его применения к решению задачи моделирования и проектирования сенсоров и микросистем.